配置于微影系统的光罩取放装置内的过滤装置

摘要

一种配置于微影系统的光罩取放装置内的过滤装置，微影系统至少包括：光源装置用以提供光源；光罩取放装置配置有复数个光罩；光罩承载台配置有固定器用以固定光罩；基板承载台配置有固定器用以固定基板；透镜组将光源装置的光源聚焦并使光罩承载台上的光罩接受照射部分转移至基板。而过滤装置由底座、上盖及化学吸附层所形成，过滤装置与微影系统内的光罩具相同尺寸，且与光罩相邻排列于光罩取放装置内支撑架上，因此，过滤装置可有效地过滤该光罩周围的悬浮分子污染物，以避免该悬浮分子污染物形成于光罩表面。