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超润滑掺硅类金刚石薄膜的制备方法

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摘要

本发明公开了一种在水环境中具有极低摩擦系数和磨损率的超润滑掺硅类金刚石薄膜的制备技术。本发明以甲烷和氩气为原料气，采用射频等离子体增强化学气相沉积和中频溅射硅靶相结合的复合沉积技术，在不锈钢表面沉积超润滑掺硅类金刚石薄膜。该薄膜在水环境中表现出良好的耐磨和润滑性能，在较大的载荷及速度范围内，均得到了极低的摩擦系数(0.005～0.009)和磨损率(1.71～8.41×10

著录项

公开/公告号CN101619455A

专利类型发明专利
公开/公告日2010-01-06

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院兰州化学物理研究所;
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申请/专利号CN200810150286.6
发明设计人陈建敏;赵飞;周惠娣;李红轩;吉利;
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申请日2008-07-03
分类号C23C28/00;C23C14/34;C23C16/26;
代理机构兰州中科华西专利代理有限公司;
代理人方晓佳
地址 730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号
入库时间 2023-12-17 23:14:27

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-07-13

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C28/00 公开日:20100106 申请日:20080703

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-03-03

实质审查的生效

实质审查的生效
2010-01-06

公开

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