一种基于超亲－超疏水特性模板的表面图案化微加工方法

摘要

一种基于超亲－超疏水特性模板的表面图案化微加工方法，涉及一种超亲/超疏水特性模板。提供一种具有实用性强、操作简单、可控性强、所需设备简易，基于超亲－超疏水特性模板技术的，适用于普通实验室的基于超亲－超疏水特性模板的表面图案化微加工方法。对基底进行电化学阳极氧化，获得一层纳米有序TiO2纳米阵列结构的膜层，膜层热处理后冷却得样品，将样品浸泡在氟硅烷甲醇溶液后取出，干燥得超疏水的TiO2纳米结构阵列膜层；在膜层表面覆盖光掩模，经紫外光照射，即可在基底表面获得图案尺寸和形貌跟光掩模一致的超疏－超亲水图案，以此为模板，经酸或碱湿化学刻蚀微加工，即可制备图案尺寸和形貌跟光掩模一致的表面微－纳米结构。