在光学纤维拉伸期间将涂层沉积在其上的方法及实施该方法的装置

摘要

本发明涉及一种在光学纤维拉伸期间将涂层沉积在其上的方法。此涂层被用来降低光学纤维的水蒸汽透过性并由此而增加其使用期。该方法的特征在于它包括借助微波等离子体增强的能量注入进行卤化硼与氢和/或卤化硼与氨气的气体混合物的分解，并且该操作是在载运气体的存在下进行的，首先将气体混合物送入到反应介质，再则激活等离子体。