一种运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法

摘要

一种运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法，包括(1)确定孔坑上的测量点：A1和A2，A1位于孔坑的孔坑底部，A2位于孔坑外边缘上；(2)测量点A1至所述扫描电子显微镜的镜筒极靴的距离Z1，所述Z1值通过计算机软件将其显示输出；(3)测量点A2至所述扫描电子显微镜的镜筒极靴的距离Z2，所述Z2值通过计算机软件将其显示输出；(4)计算出孔坑深度h，h＝Z1－Z2。本发明具有在显微尺度对一般宏观上无法测量的微米级孔坑、刻痕等进行深度测量的效果。