固态参比氧分压的ZrO2氧传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种用于汽车发动机空燃比控制的片式氧传感器及其制作方法。它是由钇稳定氧化锆粉体制成的浆料通过流延工艺成型为薄片坯材，在薄片坯材的双侧分别丝网印制具有一定孔隙的Pt电极，在钇稳定氧化锆薄片坯材上通过二次流延工艺制备固态氧分压参比片，在二次流延层中间，丝网印刷RuO2材料加热器，该层的厚度为钇稳定氧化锆层的6－7倍。在在钇稳定氧化锆薄片坯材上的外电极侧，流延成型多孔保护层，最后，将预制好的基片生坯按要求尺寸冲压成条状，制作电极连接孔，在高达1600℃的程序升温过程中真空烧结，制成传感器芯片。此方法充分利用了陶瓷片状材料流延工艺和浆料电极的丝网印刷工艺，具有生产工艺环节少、产品一致性高、成品率高、造价低廉的优点。