针对米到亚纳米长度范围内的高速测量、分析和成像的系统及方法

摘要

本发明提供了一个用于对各类尺寸的被测物体及表面进行测量、分析及成像的系统。在多数的条款中，一般来讲，本发明与这样的一个设备有关，这个设备能够测量一个物体，测量将低分辨率光学系统、高分辨率光学系统、SPM/AFM及材料分析技术结合起来对物体进行测量。把各种分辨率条件下收集的数据整合在一起来校正可以于物体表面的绝对位置相对应，可在物体表面选取任意的区域以任意角度程度的精度(可达到原子级)进行分析。在本发明的一个特殊实例说明装置中，揭示了一个对所测物体表面的测量数据的采集系统。系统包括一个样品镜台，用来承载被测物体。系统还包括一个光学镜头系统，安装在样品镜台上。光学镜头系统用来捕捉被测物体的光学图像。