膜生长期间的特性改变

摘要

将诸如InGaN的材料的生长表面曝光于一个被定向至受控位置的小直径的激光束下，所述定向例如通过扫描反射镜。在曝光位置上，材料的特征可被改变。一个实施方案中，在发生激光曝光之处，选定材料的摩尔分数被降低。一个实施方案中，材料在MBE或CVD腔中生长。