金属掺杂的类金刚石表面离子液体润滑剂自组装润滑薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种金属掺杂的类金刚石表面离子液体润滑剂自组装润滑薄膜的制备方法。本发明以离子液体润滑剂为原料，采用磁控溅射设备制备金属掺杂的类金刚石碳膜并在其上组装稳定、均匀且有序的液体润滑剂薄膜。其特点是：制备过程常温操作，对基底的材质和形状要求较低；薄膜稳定、均匀，表面粗糙度较低；薄膜减摩抗磨以及抗粘着性能好。摩擦、磨损试验结果表明：本发明所涉及的离子液体润滑剂与金属掺杂的类金刚石具有很好的结合性能，并具有良好的减摩、抗磨和抗粘着性能，有望成为解决空间机械和信息技术等领域材料的保护和润滑问题的有效手段。