通过利用低k间隔物来减小互连线间电容的方法

摘要

描述一种用于减小半导体器件内的线间电容的方法及其示范器件。该器件包括设置在蚀刻停止材料与导电层之间的间隔层。通过间隔层将蚀刻停止层与导电层隔开可以显著减小半导体器件中的线间电容。