带波前校正功能的双材料梁非制冷红外焦平面阵列

摘要

本发明公开了一种带波前校正功能的双材料梁非制冷红外焦平面阵列，包括密闭的封装壳体，封装壳体设置有锗玻璃窗口和光学玻璃窗口，壳体内为真空，壳体中间自上而下设置有一个双材料梁阵列，双材料梁阵列为梳齿状阵列，由多个均匀间隔分布的梳齿条构成，每个梳齿条均由热膨胀系数相差很大的两种材料构成，双材料梁阵列一侧安装有一个反光板，双材料梁阵列和锗玻璃窗口之间设置有一个微透镜阵列，所述微透镜阵列的排布方式为每个透镜的焦点落在双材料梁上。它是一种新型的基于光读出的红外焦平面阵列，彻底地解决了电读出的电流噪声问题，且制造工艺简单、成本低，具有高红外灵敏度、高填充因子和低噪声的优点。