平面倾斜角度的光栅衍射条纹测量法

摘要

一种平面倾斜角度的光栅衍射条纹测量法。测量装置包括：激光器、偏振片、光栅、CCD、被测物体、计算机。本发明使用激光器生成的干涉光源，该激光通过光栅后生成衍射条纹图像，调整光源和光栅位置使得在物体上产生清晰可用的衍射条纹图像。使用CCD采集物体表面上的衍射条纹图像，并将采集到的图像数据传输到计算机内，通过相应的计算机软件获得条纹模式变化与被测物体表面的平面倾斜角度θ之间的定量关系。本发明方法涉及的测量设备简便，便于操作，测量速度快，非接触式测量，满足一般几何量测量的精度要求。本测量技术实用且性价比高，有较强的实用价值，能广泛应用在工业器件表面的测量。同时适用于小场景和大场景的三维形貌测量。