一种圆形阴极表面弧斑受程控复合磁场控制的蒸发离化源

摘要

一种采用程控复合磁场，即按设定程序调整的电磁场和永久磁场叠加成的程控复合磁场，来控制圆形阴极表面上弧斑运动轨迹的蒸发离化源。