具有改进的微粒性能的主动加热铝挡板部件及其应用和制造方法

摘要

一种主动加热铝挡板部件，如等离子处理室的喷头电极组件(100)的热控制板(101)或挡板环(120)，具有暴露的外部氧化铝层，其通过电解电镀过程形成。与具有类型III阳极氧化表面的相同形状的部件相比，该暴露的外部氧化铝层使由于该铝部件和外部氧化铝层在等离子处理过程中经受的差热应力而产生的缺陷和微粒最小化。