排气装置的控制阀、排气装置和排气方法

摘要

本发明公开了一种排气装置的控制阀，该控制阀(1)内设有腔体(10)，该腔体(10)包括：在腔体(10)内设置具有弹性伸缩的波纹管(11)、与波纹管(11)固定连接并一起弹性伸缩的密封盖(12)、与密封盖(12)相通的进气腔体(13)、以及在波纹管(11)和密封盖(12)垂直方向上设置并且相互连通的排气腔体(14)。本发明还公开了一种具有上述控制阀结构的排气装置。另外，本发明还进一步公开了一种用于上述排气装置的排气方法。本发明可应用于具有排气装置的设备，尤其用于半导体器件制造业。