记录介质主盘用正型抗蚀剂组合物以及使用了该组合物的记录介质主盘的制造方法及母版的制造方法

摘要

本发明提供一种显示出色的耐镀敷性及与玻璃等基板的粘附性的记录介质主盘用正型抗蚀剂组合物以及使用该正型抗蚀剂组合物的记录介质主盘(master)或母版(stamper)的制造方法，其中的记录介质主盘用正型抗蚀剂组合物的特征在于，含有乙烯基系聚合物，该乙烯基系聚合物具有如下所述的单体单元，即：具有用烷基乙烯基醚嵌段的碱溶性基。