具有形貌图案化的膜的膜介导的电抛光

摘要

用本发明提供使用形貌图案化的膜来抛光和/或平面化金属工件的膜介导的电抛光(MMEP)方法。该方法可用于纯金属和合金，并且提供优于常规电抛光方法和已知的使用光滑膜的MMEP方法的优点。本发明也提供在膜介导的电抛光方法中有用的阴极半电池和装置。本发明还提供用于在金属工件表面电蚀刻和电加工形貌图案、孔和/或凹陷沟道的方法。