减压容器、减压处理装置以及减压容器的制造方法

摘要

本发明提供一种通过接合多片板材而构成的，充分确保接合部的气密性的减压容器。在减压容器内，由底板73的壁部73a和侧板74c或侧板74d形成的接合部Jac、Jad以及由侧板74c与侧板74d形成的接合部Jcd，在这些接合面两侧的内壁面分别形成在大致同一平面。另外，通过按压件90将密封部件80按压固定在各个接合部上，由此来确保减压容器的气密性。

说明书

技术领域

本发明涉及减压容器(也包括真空容器，以下同)的密封技术， 例如，对以液晶显示装置(LCD)或等离子体显示器等为代表的平板 显示器(FPD)用的玻璃基板等，在减压下进行干法蚀刻或成膜、搬送、 定位等处理时使用的减压容器的密封技术。

背景技术

现有技术的真空容器，从确保对大气压的耐久性和气密性的观点 出发，采用了通过机械加工从原料块体削出容器的方法、或者通过焊 接或钎焊接合板材的方法来制造真空容器。但是，通过机械进行切削 加工时，由于从材料切削出相当于容积大小的量，因而存在加工时间 长，材料浪费多的问题。另外，利用焊接或者钎焊的方法，由于需要 除去因热量而造成的变形，或需要进行精加工，因而存在制作成本高 的问题。

然而，近年，随着被处理基板的大型化，处理腔室自身的尺寸也 随之大型化。例如，FPD的生产过程中，将长边长度超过2m的矩形大 型玻璃基板收容在处理腔室内，在真空状态下进行蚀刻或灰化、成膜 等处理。另外，对于在真空状态下对这样的大型玻璃基板进行处理的 真空容器来说，必须在由铝等形成的金属制容器的内部成为真空的状 态下，确保其能够抵抗大气压的充分刚性。

因此，在由现有技术的机械加工或焊接等制造的一体型结构的真 空容器中，由于为了提高刚性必须使容器的壁具有充分的厚度，从而 造成重量的增加，并且，由于需要通过大型机械进行加工，导致制造 成本增加的问题。另外，当真空容器超过规定的尺寸而大型化时，在 搬送时受到法律上的限制，存在因搬送而经费增加的问题。

作为通过除机械加工或焊接以外的加工方法制造真空容器的技 术，例如具有提案为采用如下部件的真空容器：通过结构螺栓坚固接 合成箱形的多个板材、从内侧沿各个板材的接合线连续设置的密封部 件、以及朝向所述接合线按压所述密封部件并为了气密性密封而通过 结合螺栓进行安装的按压部件。(例如，专利文献1)

另外，也具有如下提案的技术，具有相互接合端面并构成沿周边 方向闭合的中空框体的四个以上侧面部件、以及被设置在该中空框体 的顶面以及底面并进行接合的顶面部件和底面部件，在各部件邻接的 相互接合面之间设置密封部件并构成整体化容器(例如，专利文献2)。

专利文献1；日本特开平9-209150号公报(图4等)

专利文献2：日本特开2004-286165号公报(图1等)

所述专利文献1以及专利文献2的真空容器，由于由板材和密封 部件而构成，因而可以在设置地点进行组装，并且搬送时的限制也较 少。另外，与通过现有技术的机械加工或焊接等制作真空容器的情形 相比，具有能够实现低成本的优点。

但是，对于如专利文件1所述的通过组合板材并进行接合所形成 的真空容器而言，存在难以确保容器内部转角处的密封性的问题。例 如，专利文献1中，在转角处的三片板材的接合部分上，沿板材的接 合线，使用在三个方向相互呈直角折曲的分枝形状的密封部件。但是， 这种分枝形的密封部件，在制造时需要立体模具，因而无法避免成本 的增加。

另外，在专利文献1的密封部件中，需要将人造橡胶以一定的压 力压入板材接合线。但是，在由三片板材构成的转角部，难以充分按 压所述分枝形的密封部件，最糟糕的情况是可能无法维持真空状态。

另外，在专利文献2所记载的密封部件中，由于采取在各部件邻 接的接合面之间设置密封部件的结构，为了更换密封部件必须分解容 器，因而存在难以对于作为消耗品的密封部件进行维修的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一 种通过接合多片板材而构成的，并充分确保接合部气密性的减压容器。

为解决所述问题，本发明的第一个观点是提供一种接合多个部件 而构成的减压容器，所述部件之间的接合部形成在离开所述减压容器 转角部的位置上，由密封部件从所述减压容器的内侧密封所述接合部。

本发明的第二个观点是提供一种通过接合多个部件而构成的减压 容器，在接合所述侧板之间的所有接合部中，其两侧的内壁面夹着该 接合部形成在大致同一平面上，通过密封部件从所述减压容器的内侧 密封所述接合部。

本发明的第三个观点是提供一种通过接合包括端部折曲形成的板 材和平板在内的多个部件而构成的减压容器，

具有通过所述端部形成折曲的板材和与该板材接合的所述平板而 形成的转角部，并且，

通过相互邻接的三个部件而形成的接合部形成在离开所述转角部 的位置上，

通过密封部件从所述减压容器的内侧密封接合所述部件之间的接 合部。

在所述第一观点到第三观点中，作为所述部件，至少可以具有底 板、以及接合在该底板上的多个侧板，此时，多个所述侧板的全部或 一部分优选其端部形成折曲。

本发明的第四个观点是提供一种通过接合多个部件而构成的减压 容器，包括：底板；

接合在所述底板上的多片侧板；和

从内侧密封相邻的所述侧板之间、以及所述侧板和所述底板的各个 接合部的密封部件，其中，

在所述底板上一体设置有构成所述减压容器的侧壁下部的壁体，

所述侧板的内壁面与所述底板的壁体的内壁面夹着所述接合部， 基本接合在同一平面上。

在所述第四个观点中，还包括接合在所述侧板上的上板，在该上 板上也可以一体设置构成所述减压容器的侧壁上部的壁体。

另外，多片所述侧板的全部或一部分，具有其端部折曲的形状， 也可以在离开连结所述减压容器的转角与转角的角部的位置上，形成 邻接所述侧板之间的接合部。

另外，所述侧板之间以及接合所述底板与所述侧板的所有接合部， 优选形成在所述减压容器的侧部上。

另外，在所述第一～第四个观点中，在所述接合部，优选形成安 装所述密封部件的沟槽。

另外，本发明的第五个观点是提供一种具有所述第一～第四个观 点的任何一个减压容器的减压处理装置。

另外，本发明的第六个观点是提供一种减压容器的制造方法，包括： 采用多个部件，所述部件之间的接合部形成在离开减压容器转角的位 置上，且在夹着所述接合部，其两侧的内壁面基本形成在同一平面上 的方式下，接合各个部件组装筐体的工序；和

在所述筐体的内侧，密封所述接合部的工序。

在所述第七个观点中，作为所述部件，至少采用底板、以及接合 在该底板上的多片侧板，并且，在所述底板上，一体设置有构成所述 减压容器的侧壁下部的壁体，

多片所述侧板的全部或一部分优选具有其端部折曲形成的侧板。

本发明的第八个观点提供一种减压容器的制造方法，包括：采用包 括端部形成折曲的部件和平板在内的多个部件，由所述端部形成折曲 的部件与所述平板形成转角，并且，由相互邻接的三个部件所形成的 接合部以形成在离开所述转角的位置上的形式接合各部件组装成筐体 的工序；以及

在所述筐体的内侧，密封所述接合部的工序。

本发明的优选实施方式中，在通过接合至少包括底板、结合在该 底板上的多片侧板在内的多个部件而构成的减压容器中，将所述部件 之间的接合部形成在离开所述减压容器转角的位置上。由此，能够避 免在难以由密封部件确保密封性的减压容器的转角部进行密封。

另外，本发明的另一个优选实施方式中，在通过接合至少包括底 板、结合在该底板上的多片侧板在内的多个部件而构成的减压容器中， 夹着接合所述侧板之间以及接合所述底板与所述侧板的全部接合部， 将其两侧的内壁面成在大致同一平面上。由此，能够避免在减压容器 的转角部形成接合部，并能够提高密封部件的密封性。

本发明的又一个优选实施方式中，由于通过端部形成折曲的板材 和与其接合的平板的两片板材而形成减压容器的转角，与由三片板材 接合而形成转角的现有技术的减压容器相比，能够显著提高该转角处 的密封性。

另外，由相互邻接的三个部件而形成的接合部，形成在离开所述 转角的位置上，通过配置T字形的密封部件能够可靠地进行密封。

因此，根据本发明，能够显著提高接合多片板材的组装结构的减 压容器气密性。

另外，根据本发明，由于能够制造具有优良气密性的组装结构的 减压容器，因而可以应对在机械加工或焊接等接合方法中有所局限的 减压容器的大型化。

附图说明

图1表示的是可以适用本发明密封机构的真空处理系统的概略立 体图。

图2表示的是图1真空处理系统的水平截面图。

图3表示的是控制部概略构成的方块图。

图4表示的是搬送室的外观结构立体图。

图5表示的是筐体的分解立体图。

图6表示的是筐体内部接合结构的关键部位的立体图。

图7表示的是筐体内部接合结构的关键部位的立体图，(a)表示 图6中A部的放大图，(b)表示同图B部的放大图。

图8表示的是密封部件整体形象的立体图。

图9表示的是用于说明接合部结构的关键部位截面图。

图10表示的是用于说明接合部密封构造的关键部位截面图，表示 的是固定密封部件的状态。

图11表示的是涉及另一个实施方式的筐体的分解立体图。

图12表示的是图11筐体接合结构的关键部位立体图

图13表示的是用于说明密封部件固定方法的关键部位立体图。

图14表示的是涉及另一个实施方式的筐体外观立体图。

图15表示的是在另一个实施方式中的筐体角部中的接合结构的关 键部位截面图。

标号说明：

1：真空处理系统；10a、10b、10c：处理腔室；20：搬送室；30： 负载锁定室(load lock room)；50：搬送装置；60：控制部；80：密封 部件；80a、80b：环线部；80c、80d、80e、80f：直线部；90：按压件； 91：角部按压件

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的优选实施方式进行说明。此处，以 可以适用本发明的密封部件的真空处理系统为例进行说明。图1表示 的是具有本发明一个实施方式涉及的真空腔室的真空处理系统1的概 略构成立体图，图2是概略表示其内部的水平截面图。该真空处理系 统1，例如，作为用于对FPD用的玻璃基板(以下仅称“基板”)S进 行等离子体处理的多腔室式的真空处理系统而构成。此处，作为FPD， 可以举例出液晶显示器(LCD)、发光二极管(LED)显示器、电致发 光(EL：electro luminescence)显示器、真空荧光显示管(VFD：Vacuum Fluorescent Display)、等离子体显示板(PDP)等。

在真空处理系统1中，搬送室20和负载锁定室30连设在中央部。 并且，在搬送室20的周围设置有对基板S进行蚀刻等等离子体处理的 三个处理腔室10a、10b、10c。所述搬送室20、负载锁定室30、三个 处理腔室10a、10b、10c中的任何一个均作为真空腔室而构成。在搬 送室20与负载锁定室30之间，搬送室20与各个处理腔室10a、10b、 10c之间，以及连通负载锁定室30与外侧的大气气氛的开口部上分别 插设有将其间气密性地密封并且以可以开关的方式而构成的闸阀22。

负载锁定室30的外侧上设置有两个盒定位器(cassette indexer)41， 其上面分别载置收容基板S的盒40。在这些盒40中的一个上，例如， 可以收容未处理基板，在另一个上能够收容处理完毕的基板。所述盒 40可以通过升降机构42而进行升降。

在所述两个盒40之间，在支承台44上设置有搬送机构43，该搬 送机构43具有：设为上下两层的拾取器45、46；以及以可以整体进出 退避和旋转的方式支承这些部件的底座47。

上述处理腔室10a、10b、10c，其内部空间可以被保持在规定的减 压气氛、例如真空状态，在其内部进行等离子处理、例如蚀刻处理或 灰化处理。本实施方式中，由于具有三个处理腔室，例如，可以使其 中两个处理腔室作为蚀刻处理室而构成，剩下的一个处理腔室作为灰 化处理室而构成，或者也能够将三个处理腔室全部作为进行同一处理 的蚀刻处理室或灰化处理室而构成。此外，处理腔室的数量不仅限于 三个，也可以是四个以上。

搬送室20可以与作为真空处理室的处理腔室10a～10c一样，保 持在规定的减压气氛，如图2所示，其中设置了具有上下两层的滑动 拾取器513、523(仅图示上层)的搬送装置50。于是，通过该搬送装 置50，在负载锁定室30以及三个处理腔室10a、10b、10c之间搬送基 板S。

负载锁定室30与各个处理腔室10以及搬送室20一样，可以保持 在规定的减压气氛。另外，负载锁定室30用于在处于大气气氛中的盒 40与减压气氛中的处理腔室10a、10b、10c之间进行基板S的接收， 由于重复大气气氛与减压气氛，因而构成为尽可能缩小其内容积。在 负载锁定室30内，基板收容部31设置在上下两层(在图2中仅显示 上层)，在各个基板收容部31上设置有支承基板S的多个缓冲器32， 在这些缓冲器32之间形成有滑动拾取器513、523的空刀槽32a。另外， 在负载锁定室30内，与矩形基板S的相对角部附近抵接，而设置有进 行定位的定位器33。

真空处理系统1的各个构成部形成与控制部60连接并被控制的构 成方式(图1中省略图示)。控制部60的概要如图3所示。控制部60 包括配备有CPU的处理控制器61，该处理控制器61上连接有用户界 面62，该用户界面包括工序管理者为了管理真空处理系统1而进行指 令输入操作等的键盘以及可视化显示真空处理系统1的运行状况的显 示器等。

另外，控制部60具有存储部63，在该存储部中存储有记录着用于 在处理控制器61的控制下实现真空处理系统1所实施的各种处理的控 制程序(软件)以及处理条件数据等的方案，该存储部63与处理控制 器61连接。

另外，根据需要，根据来自用户界面62的指示等将任意的方案从 存储部63调出，并使处理控制器61实施，由此，在处理控制器61的 控制下，在真空处理系统1中进行所希望的处理。

所述控制程序和处理条件数据等方案，可以利用存储于计算机可 读取的存储介质、例如CD-ROM、硬盘、软磁盘、闪存存储器等中的 状态的方案，或者也可以从其他装置、例如通过专用电路而即时传送、 以在线(on line)状态进行利用。

以下，针对如上所述构成的真空处理系统1的动作进行说明。

首先，驱动搬送机构43的两片拾取器45、46使之进退，从收容 有未处理基板的一个盒40将两片基板S一片一片地搬入到负载锁定室 30的上下两层的基板收容部31中。

拾取器45、46退避后，将负载锁定室30的大气一侧的闸阀22关 闭。之后，为负载锁定室30内排气，将内部减压至规定的真空度。抽 真空完成后，通过由定位器33按压基板S而进行基板S的定位。

如上所述的定位完成后，开启位于搬送室20与负载锁定室30之 间的闸阀22，通过搬送室20内的搬送装置50接受收容在负载锁定室 30的基板收容部31内的基板S。于是，通过搬送装置50的滑动拾取 器513或523，将基板S搬入处理腔室10a、10b、10c的任何一个中。 然后，在处理腔室10a、10b、10c中进行过蚀刻等规定处理的基板S， 通过搬送装置50被搬出处理腔室10a、10b、10c。于是，基板S按照 与上述相反的路径经过负载锁定室30，通过搬送机构43而被收容在盒 40内。此时，可以将基板S返回原来的盒40内，也可以将其收容在另 一个盒40内。

以下，针对本发明的密封部件以及采用密封部件的密封机构进行 说明。构成搬送室20、负载锁定室30、以及处理腔室10a、10b、10c 的真空容器，为了能够将各自的内部保持在真空状态，采用密封部件 进行密封。此处，以搬送室20中的密封机构为例进行说明。

图4表示的是搬送室20外观结构的立体图，图5表示的是其分解 立体图。此外，省略搬送装置50等的内部构造图。搬送室20，作为其 主要结构，是具有筐体70和顶板71的真空容器。筐体70通过接合六 片板材而构成。即、筐体70包括上板72、与该上板72相对且平行配 置的底板73、以及与所述上板72和底板73接合的四片侧板74a、74b、 74c、74d。构成筐体70的各个板材，例如，通过螺钉或螺栓等固定部 件(未图示)进行接合，成为一体并在其内部形成搬送基板S的搬送 空间。

上板72如图所示，在中央具有开口75。另外，例如在使用起重 机等使顶板71上升的状态下，形成通过该开口75可以对配置在搬送 室20内部的搬送装置50进行维修的结构形式。另外，上板72的开口 75的周围，在未图示的细沟槽内配置有O形环等密封部件76。另外， 将顶板71通过螺钉或螺栓等固定部件101暂时固定在筐体70上，通 过在这种状态下为搬送室20的内部减压，形成能够确保作为真空容器 的充分的气密性的结构形式。另外，虽然未图示，但在底板73上也形 成有用于设置搬送机构50(参照图2)的开口。

在上板72上设有构成筐体70的侧壁局部(上部)的壁部72a，呈 下面开口的浅箱形。如此形状的上板72，例如，能够通过切削加工而 形成。

另外，底板73上设有构成筐体70的侧壁局部(下部)的壁部73a， 呈上面开口的浅箱形。如此形状的上板73，例如，能够通过切削加工 而形成。

在四片侧板74a、74b、74c、74d上分别设有用于基板S搬入搬出 的搬送用开口。筐体70的短边一侧的侧板74a上形成的搬送用开口 77a、77b形成在与负载锁定室30(参照图1及图2)的缓冲器32之间 可以搬入搬出基板S的位置上。另外，位于筐体70其他三边的侧板 74b～70d上所分别形成的搬送用开口78，在与作为真空处理室的处理 腔室10a～10c之间搬入搬出基板S时使用。在各个搬送用开口77a、 77b、78上，分别安装闸阀22(参照图1)，通过各个闸阀22在邻接设 置的各个处理腔室10a、10b、10c以及负载锁定室30之间进行基板S 的交接传递。

另外，四片侧板74a、74b、74c、74d中，侧板74a与侧板74c的 两端部E分别被弯折成直角并形成能够构成筐体70的局部侧壁的形 式。

根据所述上板72以及底板73的形状，在组装成筐体70的状态下， 全部接合部均形成在离开筐体70的八个转角部400(参照图6)的位 置上。由此，不需要对难于确保密封性的筐体70的转角部400进行密 封。另外，本实施方式中，四片侧板74a～74d中，由于侧板74a与侧 板74c的两端部E为折曲形状，在组装成筐体70的状态下，邻接侧板 之间的接合部形成于离开在筐体70的内侧将相邻的转角部400与转角 部400连结的角部500(参照图6)的位置上。由此，不需要对仅次于 转角部400的难于确保密封性的筐体70的角部500进行密封。

由此，本实施方式涉及的筐体70，通过对作为构成部件的各个板 材的形状进行推敲，尽可能减少对难以密封的筐体70的转角部400和 角部500进行密封，提高了作为减压容器的搬送室20的气密性。另外， 通过所述结构，由于所有接合部被形成在筐体70的侧壁部分(侧面) 上，便于筐体70的组装，使得密封部件80(参照图8)的交换等维修 能够方便的进行。

搬送室20的顶板71与构成筐体70的六枚板材，能够由例如铝、 不锈钢、钢铁材料等金属材料构成。

搬送室20的组装能够通过以下顺序进行。首先，将上板72、底板 73、侧板74a～74d通过螺钉或螺栓等固定部件接合并形成筐体70。此 时，各个板材的接合顺序可以任意。然后，通过本发明的一个实施方 式涉及的密封机构将各个板材的接合部从筐体70的内侧进行密封，确 保能够承受真空状态的气密性。关于该密封机构将在后面详述。

然后，将搬送机构50等内部部件以及闸阀22等设置在筐体70上 后，将顶板71设置在筐体70的上部，使O形环等的密封部件76与顶 板71的下面抵接。然后，将顶板71通过螺钉或螺栓等固定部件101 临时固定在筐体70上。在这种状态下，通过未图示的排气装置为搬送 室20内部进行减压排气，密封部件76被压接在顶板71的下面，能够 在确保气密性的状态下将内部维持为真空状态。

此外，在接合顶板71以及构成筐体70的各个板材(上板72、底 板73、侧板74a～74d)时，可以采用不局限于螺钉或螺栓的任何固定 部件。

图6表示的是搬送室20的内部接合部的密封机构的关键部位立体 图。另外，图7(a)表示的是图6中A部的放大图，图7(b)表示的 是图6中B部的放大图。另外，图8表示的是本实施方式中采用的密 封部件80的整体结构的立体图。本实施方式中的密封机构使用了对应 于筐体70内侧接合部的形状的密封部件80、以及用于固定该密封部件 80的辅助器具(后述的按压件90、角部按压件91)。

在本实施方式中，如前所述，在底板73上设有构成筐体70的局 部侧壁的壁部73a，呈上面开口的浅箱形。由此，如图6所示，夹着底 板73的壁部73a与侧板74c的接合部Jac，使其两侧的内壁面(底板 73的壁部73a与侧板74c的内壁面)基本形成在一个平面(同一平面) 上。同样，夹着底板73的壁部73a与侧板74d之间的接合部Jad并使 其两侧的内壁面(底板73的壁部73a与侧板74d的内壁面)基本形成 在同一平面上。图6中虽未图示，但对于侧板74a、74b与底板73的 壁部73a之间的接合部也是同样。另外，如前所述，四片侧板74a、74b、 74c、74d中，侧板74a与侧板74c的两端部E分别被弯折成直角。因 此，例如图6中，在接合侧板74c与侧板74d的状态下，夹持两者的 接合部Jcd并使其两侧的内壁面大致形成在同一平面上。

如前所述的现有技术，如果在筐体的转角部设置由板材形成的接 合部的话，需要使用沿三个方向进行分枝的结构的密封部件，例如， 如果不在其交点部分进行直角弯折的话，就不能够密封转角部400的 接合部。但是，密封部件为沿三个方向分枝的形状并且为折曲状态， 以足够的压力将这样的密封部件按压在转角部400的接合线上决非易 事，筐体70的转角部400处的密封性能有可能下降并产生泄漏，损害 作为真空容器的可靠性。

在本实施方式中，在筐体70内侧的各个接合部上，使其两侧的内 壁面基本形成在同一平面上，在筐体70的转角部上不形成接合部。由 此，可以平面地进行对构成筐体70的各个板材的接合部的密封，能够 获得优良的密封性。另外，本实施方式中，作为密封部件80，采用如 图8所示形状的密封部件80。更具体地说就是，密封部件80构成为通 过四根直线部80c、80d、80e、80f而连结环线形的上下环线部80a、 80b的形态。相对上下环线部80a、80b，四根直线部80c、80d、80e、 80f分别呈T字形并连接为直角。另外，密封部件80中的上侧环线部 80a，将上板72与各侧板74a～74d之间的接合部密封，下侧的环线部 80b，将底板73与各侧板74a～74d之间的接合部密封。另外，密封部 件80中的四根直线部80c、80d、80e、80f，形成能够分别密封各侧板 74a～74d之间的接合部的结构形式。通过采用这样的密封部件80，能 够可靠地密封上板72以及底板73与侧板74a～74d之间的接合部。

密封部件80，采用例如直径2～10mm左右的线形人造橡胶而构 成。作为密封部件80的材质，与通常的O形环一样，可以使用例如以 氟橡胶(viton，产品名，DuPont公司制造)为代表的氟类橡胶、丁基 类橡胶、硅橡胶等人造橡胶。

密封部件80，沿形成在各个板材接合部上的接合线设置，通过辅 助器具而被固定。例如，在由底板73与侧板74c、74d而形成的接合 部Jac、Jad或由侧板74c与侧板74d形成的接合部Jcd，通过按压件 90将密封部件80按压在接合线上，由此进行固定，能够确保气密性。 另外，在侧板74c的角部500，通过角部按压件91，将密封部件80按 压在接合部Jac的接合线上，由此进行固定，能够确保气密性。此外， 虽然在图6中被省略，但侧板74c与74d的接合部Jcd上也配备有按压 件90。另外，图6中的符号202是通过螺钉或螺栓等固定部件1 02固 定按压件90、91时的螺孔，按压件90的符号90a，角部按压件91的 符号91a是在那时固定部件102所插入的孔部。

图9及图10是表示接合部的密封构造的一个例子的截面图。此处 表示的是，底板73的壁部73a与侧板74d的接合部Jad的例子。

按压件90由与构成筐体70的各个板材同样的材质形成长板形。 并且，通过按压件90，朝向筐体70中的接合部Jad内侧的接合线按压 密封部件80，同时，通过螺钉或螺栓等固定部件102而固定。此时， 夹着接合部Jad，其两侧的壁面(侧板74d与底板73的壁部73a的壁 面)形成为基本在同一平面，因而易于通过按压件90均匀且可靠地按 压密封部件80。本实施方式中，不局限于接合部Jad，在构成筐体70 的全部接合部中，夹着该接合部并且其两侧的壁面呈大致同一平面的 形式，因而通过密封部件80能够充分确保密封性。

另外，在接合部Jad上形成密封槽79，如图10所示，形成将密封 部件80(图9中下侧的环线部80b)嵌入该密封槽79内而进行密封的 构成形式。密封槽79具有确定密封部件80位置的功能，起使密封部 件80可靠地压接在接合部Jad上的作用。因此，能够充分确保密封部 件80的密封性。此外，密封槽79能够通过将形成各接合部的板材的 边缘切除并形成台阶部的形式而进行设置。此时，图9以及图10中， 虽然是在构成接合部的两片板材的一方侧板74d上形成台阶部，但也 可以在底板73的壁部73a的边缘上形成台阶部，或者也可以在两片板 材各自的边缘上形成台阶部。

以下，参照图11～图13，针对另一个实施方式涉及的减压容器进 行说明。如前所述，图4～图6所述的实施方式中，作为构成筐体70 的上板72与底板73，通过采用具有壁部72a、73a的板材，使相互邻 接的三片板材所形成的接合部形成在离开筐体70的转角部400的侧壁 部分上。但是，例如图11所示，通过接合平板形的上板301以及平板 形的底板302、和侧板303a～303d，也能够形成筐体300。此外，在图 11中省略了顶板的图示。

构成搬送室20的筐体300，具有，平板形的上板301、与该上板 301相对且平行设置的平板形底板302、以及接合在该上板301和底板 302上的四片侧板303a、303b、303c、303d。构成筐体300的各个板 材，通过例如螺钉或螺栓等固定部件(未图示)而接合，成为一体， 构成在其内部搬送基板S的搬送空间。

上板301具有开口部304。另外，形成在使用例如起重机等使未图 示的顶板上升的状态下，通过该开口304能够进行对配置在搬送室20 内部的搬送装置50进行维修的结构形式。另外，上板301的开口304 的周围，在未图示的细沟槽内配置有O形环等密封部件305。另外， 在通过螺钉或螺栓等固定部件将未图示的顶板暂时固定在筐体300上 的状态下，为搬送室20的内部减压，由此能够确保作为真空容器的充 分气密性。另外，虽然未图示，但在底板302上也形成有用于设置搬 送机构50(参照图2)的开口。

在四片侧板303a、303b、303c、303d上分别设有用于搬入搬出基 板S的搬送用开口。筐体300的短边一侧的侧板303a上形成的搬送用 开口306a、306b，形成在与负载锁定室30(参照图1及图2)的缓冲 器32之间，可以搬入搬出基板S的位置上。另外，位于筐体300的其 他三边上的侧板303b～303d上所分别形成的搬送用开口307，在与作 为真空处理室的处理腔室10a～10c之间搬入搬出基板S时使用。在各 个搬送用开口306a、306b、307上，分别安装有闸阀22(参照图1)， 经由各个闸阀22在邻接设置的各个处理腔室10a、10b、10c以及负载 锁定室30之间进行基板S的交接传递。

另外，四片侧板303a、303b、303c、303d中，侧板303a与侧板 303c的两端部E分别被弯折成直角并形成能够构成筐体300的局部侧 壁的形式。

本实施方式中，四片侧板303a～303d中，侧板303a、303c的两侧 端部E为折曲的形状，所以通过接合形成为平板状的上板301以及底 板302与端部E呈折曲形的侧板303a、303c能够形成筐体300中的八 个转角部400。另外，在组装了筐体300的状态下，邻接侧板之间的接 合部，在筐体300的内侧，形成在离开连结相互邻接的转角部400与 转角部400的角部500的位置上。例如，如图12所示，由于通过平板 形的底板302和端部呈折曲形的侧板303c的两片板材而形成筐体300 的转角部400，与通过三片板材接合而形成转角部400的现有技术结构 的减压容器相比，能够显著提高该转角部400的密封性能。

另外，由于侧板303c与侧板303d的接合部308a的两侧内壁面呈 大致同一平面，此处，通过未图示的按压件90(参照图6)能够可靠 地进行密封。此外，由于底板302与侧板303c、303d之间的接合部308b 形成在筐体300的角部500，因而在该部分，两个内壁面例如呈直角。 此处，在接合部308b，例如图13所示，采用截面呈L字形的角部按压 件93将密封部件80固定。使密封部件80抵接在其外周面上的接合部 93b形成在角部按压件93上，通过该接合部93b能够将密封部件80 按压固定。此外，在图13中，符号93a是用于通过螺钉或螺栓等固定 器具102将角部按压件93固定的孔部。

通过以上结构，本实施方式中，通过相互邻接的三片板材，例如 底板302与侧板303c和侧板303d形成的接合部309(即，接合部308a 与接合部308b之间的交叉部位)形成在离开所述转角部400的位置上。 该接合部309中的T字形的接合线，通过配置具有T字形连接部的密 封部件80而能够可靠地进行密封。因此，能够形成气密性优良的减压 容器。

此外，图11以及图12所示的实施方式的筐体300中，除了上板 301以及底板302为平板状之外，基本可以采用与如图4至图6所示的 实施方式涉及的筐体70同样的构成形式，密封部件80也可以采用与 图8同样的构成形式。

这样，在本实施方式涉及的筐体300中，通过对结构部件的各个 板材的形状进行设计，能够尽可能减少难以密封的筐体300的转角部 400以及角部500的密封，提高作为减压容器的搬送室20的气密性。

本发明中，通过采用所述各个实施方式所示的密封结构，即使在 接合多片板材的组装结构中，也能够方便的制作具有良好气密性的真 空容器。因此，作为在安装场所进行接合的组装式的减压容器，与现 有技术的一体型真空容器相比，不仅能够减少加工成本等制造成本， 而且还能减少运输成本。

此外，本发明并不仅限于所述实施方式，可以进行各种变形。例 如，作为被处理体，不局限于采用FPD用的玻璃基板，也可以是半导 体晶片。

另外，所述实施方式中，作为形成减压容器的筐体70，以平面视 图矩形的六面体为例进行了说明，但接合板材形成例如八面体或十面 体等形状的减压容器也同样能够采用本发明的密封机构。图14表示的 是将底板311以及五枚侧板312a～312e接合并可以作为搬送腔室使用 的平面视图呈五角形(七面体)的减压容器310的例子。此外，图14 中省略了上板或顶板的图示。

另外，减压容器不局限如图4所示的具有筐体70与顶板71的结 构。例如，通过下部容器以及与之相对设置的上部容器形成一个腔室 结构，并通过使上部容器升降、滑动、旋转而开启关闭腔室的减压容 器中，通过接合板材而制造所述上部容器以及下部容器时，也能够使 用本发明的密封构造。

另外，图4～图6所述的实施方式中，构成筐体70的板材中，在 上板72与底板73上分别设置壁部72a、73a，同时，在侧板74a、74c 的端部上设置折曲部E，避免了在筐体70的八个转角部400上形成接 合部。但是，例如图15所示，也可以斜向切断侧板74c、74d的端部 形成倾斜面，并且，采用在各个侧板74c、74d的端部设置山形凸出部 D的结构形式。此时，通过使两片板材74c、74d的倾斜面相互接合， 两个凸出部D以形成接合部Jcd的形式而组合，使筐体内侧的角部平 坦化。即，在筐体内侧的角部，可以夹着接合部Jcd并使其两侧的内壁 面呈同一平面的形式。在本实施方式中，也可以使用未图示的按压件 90可靠地按压固定密封部件80。

另外，所述实施方式中，以搬送腔室20为例进行了说明，但只要 是减压容器，没有特别的限制可以适用本发明的技术思想。例如，作 为真空预备室的负载锁定室30，或是作为真空处理室的处理腔室10a～ 10c也能够采用同样的密封装置。

另外，所述实施方式中，以将基板S保持水平方向的状态进行搬 送和处理的腔室为例进行了说明，但本发明的技术思想，也可以适用 于以将基板S纵向竖起的状态进行搬送及处理的所谓纵向式结构的腔 室。

产业上的可利用性

本发明，可以优选适用于制造例如对FPD用的玻璃基板等基板进 行搬送或蚀刻等各种处理时使用的减压容器。