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具有大压电常数和高电阻率的V掺杂ZnO薄膜材料

摘要

本发明公开了属于新材料领域的一种具有大的压电常数和高电阻率的ZnO薄膜材料。具有压电常数d

著录项

  • 公开/公告号CN101118948A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2008-02-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 清华大学;

    申请/专利号CN200710121299.6

  • 发明设计人 潘峰;杨玉超;曾飞;宋成;

    申请日2007-09-03

  • 分类号H01L41/18;H03H9/02;

  • 代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司;

  • 代理人朱印康

  • 地址 100084 北京市北京100084-82信箱

  • 入库时间 2023-12-17 19:41:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-12-02

    发明专利申请公布后的驳回

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2008-04-02

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-02-06

    公开

    公开

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