图案形成材料以及图案形成装置及永久图案形成方法

摘要

本发明的目的在于提供一种图案形成材料，其是一种以形成阻焊剂之类的永久图案为目的、通过将高透明的物质用作支撑体并规定总厚度而可以形成高灵敏度而且更高精细的图案的图案形成材料。所以，本发明的图案形成材料至少具有支撑体和在该支撑体上的感光层及保护薄膜，该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂及热交联剂，同时支撑体、感光层以及保护薄膜的总厚度为30～200μm，而且对感光层进行曝光、显影时，使感光层的曝光部分的厚度在曝光及显影后不发生变化的、曝光中使用的光的最小能量为0.1～200mJ/cm