超声键合过程的键合力监测系统

摘要

一种超声键合过程的键合力监测系统，本发明用动态压电传感器作为键合力传感器，传感器外接线采用防干扰低噪音连接线，传感器与键合台之间通过螺纹紧固连接，力传感器和工作台之间不能发生相对移动，传感器信号接出后放大，再输入数据采集卡，由数据采集系统完成键合力的处理，再送到显示器，或将放大的信号直接送到示波器。本发明能实现超声键合过程中键合力的实时在线监测，获取键合力变化的详细细节，也不影响键合系统的性能。