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自动光学检查系统的示教方法及利用它的检查方法

摘要

本发明涉及对印刷电路板单元进行光学检查的自动光学检查系统的示教方法及利用它的检查方法。本发明的自动光学检查系统为了进行自动光学检查而先进行示教作业。示教作业是在光学检查之前设定检查环境信息的作业,表示设定检查对象物的检查区域或检查规格等检查所需的环境信息的各种作业。本发明的示教作业将主数据分为均匀的大小来登记多个细部检查区域。然后,登记用于识别各细部检查区域的识别信息和用于判别细部检查区域的图案及空间成分的基准数据。因此,本发明的光学检查与印刷电路板单元的大小无关地按一定的大小分割多个细部检查区域,能够以影像摄像装置的一次最大摄像范围获取影像数据,并且利用被分的细部检查区域来判别印刷电路板单元的合格与否,可以使自动光学检查系统的存储器使用最小化,提高示教及检查速度。

著录项

  • 公开/公告号CN101086481A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2007-12-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 AJU高技术公司;

    申请/专利号CN200710109945.7

  • 发明设计人 崔铉镐;

    申请日2007-06-06

  • 分类号G01N21/898;G01R31/309;

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人胡建新

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2023-12-17 19:28:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-07-30

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N21/898 授权公告日:20120418 终止日期:20130606 申请日:20070606

    专利权的终止

  • 2012-04-18

    授权

    授权

  • 2009-06-24

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-12-12

    公开

    公开

说明书

技术领域

本发明涉及自动光学检查系统,更具体地,涉及自动光学检查系统的示教方法及利用它的检查方法。

背景技术

随着半导体器件小型化、轻量化,使用较多的薄膜(film)、带(tape)型的挠性印刷电路板。挠性印刷电路板例如有TAB(Tape AutomaticBonding,即,载带自动焊)、COF(Chip On Film)等,用作液晶显示装置的驱动集成电路、存储器等的印刷电路板。

这样的挠性印刷电路板10如图1所示,做成连续形成有具有电路图案的单元12的薄膜、带形状。在检查时,挠性印刷电路板10为了在检查时传送,在上下两端以一定间距具有索引孔14。索引孔14是由称作PF(Perforation hole)孔或IP孔(Index perforation hole)  (以下称为IP孔)相咬合而形成的。各自的相邻的IP孔14和IP孔14之间的间隔16为4.75mm,是本领域的共同规格,将相邻的IP孔和IP孔之间的间隔定义为1节距(pitch)。

因此,在本领域中制造产品时,根据使用目的来决定节距大小,并决定一个单元(产品)的大小。例如,若将6节距做成一个单元,在薄膜上IP孔的每6节距的大小形成一个单元,在该大小的单元内形成各种电路图案。然后,以这样的IP孔为基准,到制造成品为止,利用与该IP孔啮合旋转的锯齿形状的装置来传送薄膜,或在检查时以IP孔的6节距为一个单元进行检查,判断相应单元的合格与否。

一般,利用自动光学检查系统来检查挠性印刷电路板10的外观。对于半导体器件制造用挠性印刷电路板的生产企业来说,检查印刷电路板的合格或不合格的检查过程非常重要。例如,在印刷电路板的图案内产生短路、突起、凹陷等的各种缺陷,而使印刷电路板不能使用,因此,有效的检查成为生产性及品质管理的主要原因。

利用光学自动检查系统对连续的挠性印刷电路板进行光学检查时,在检查前进行设定环境信息的示教(teaching)作业。示教作业表示设定检查对象物的检查区域或设定检查规格等设定检查环境的各种作业。例如,示教作业设定包括要检查的图案的空间等的检查区域,或者设定包括用于判别印刷电路板单元的合格与否的基准数据等检查规格。因此,自动光学检查系统在检查时按设定的检查区域单位进行检查,根据与设计规格相比有多大的数据差异来判别合格与否。

参照图2及图3,现有的自动光学检查系统2以一个单元12为产品大小单位来进行光学检查,在产品的大小比摄像机6的视场大的情况下,分割产品大小来进行检查。例如,摄像机6的镜头视场是25mm的情况下,一次最大摄像范围可以检查到5节距。但是,当检查对象物是具有6节距以上的产品大小的单元12时,控制部4进行示教作业处理,以便通过分两次检查来获取各影像数据16、18。这时,摄像机6按一次3节距(即,3IP)的大小8来进行检查,因此产生2节距被重复检查的现像,从而存在效率下降的问题。

其他例子,在以最大视场来拍摄一个单元12的情况下,第一次拍摄5节距,第二次拍摄下一5节距,则第二次的第一节距有效,但是与剩余4节距对应的影像数据是下一单元的影像数据,由于在下一单元的拍摄时重新从第一节距开始拍摄,所以不需要它。

并且,如图3所示,在示教时对一个产品区域分两次设定各检查环境,所以需要分别存储管理分为两次的、前半部16及后半部18的数据。其结果,在示教及检查时控制部4的存储器的使用量增加、实际示教时间增加,此外示教及检查速度降低。

发明内容

本发明的目的在于,提供一种用于有效地处理挠性印刷电路板的外观检查的自动光学检查系统的示教方法。

本发明的另一目的在于,提供一种应用自动光学检查系统的示教方法的检查方法,该自动光学检查系统的示教方法有效地处理挠性印刷电路板的外观检查。

本发明的再一目的在于,提供如下的方法:在进行挠性印刷电路板的外观检查的自动光学检查系统中,与印刷电路板的大小及种类无关地分为均匀的大小来进行示教及检查。

为了实现上述目的的本发明的自动光学检查系统的示教方法,其特征之一是,将印刷电路板单元的主数据分为均匀的大小来登记多个细部检查区域。这样的示教方法能够与印刷电路板的大小无关地迅速示教。

根据该示教方法,提供一种对相同图案的印刷电路板单元连续进行光学检查的自动光学检查系统的示教方法。该示教方法如下:准备上述印刷电路板的主数据。将上述主数据分为多个细部检查区域来登记。接着,登记用于判别上述细部检查区域的图案成分的基准数据。

在一个实施例中,上述分为细部检查区域来登记是将上述主数据分为均匀的大小来登记。

在另一实施例中,上述示教方法还包括:登记用于识别上述各细部检查区域的识别信息。

并且,在另一实施例中,登记上述识别信息如下进行:对应于上述细部检查区域,设定和存储为互不相同的文字、记号及图形中的某一识别标记。

并且,在另一实施例中,上述识别标记分别设置在上述细部检查区域内部的互不相同的位置。

并且,在另一实施例中,上述识别信息是进一步设定上述识别标记的位置信息来存储的。

并且,在另一实施例中,在上述印刷电路板单元具备索引孔的情况下,述细部检查区域被按照相邻的索引孔之间的间隔大小来分割。

并且,在另一实施例中,登记上述基准数据是如下进行:在与上述各细部检查区域对应的上述被分割的主数据中显示希望进行光学检查的标识图案;利用上述标识图案判别上述细部检查区域的图案成分及空间成分;测量上述被判别的图案成分及空间成分的宽度;并且,设定和存储用于判别上述被测量的图案成分的合格与否的上述基准数据。

并且,在另一实施例中,上述基准数据设置为基于上述标识图案的亮度照度计的二值数据。

根据本发明的另一特征,提供一种利用登记多个细部检查区域的示教方法的自动光学检查系统的检查方法。这样的本发明的检查方法能够以影像摄像装置的一次最大摄像范围获取影像数据,利用被分的细部检查区域来判别印刷电路板单元的合格与否,可以使自动光学检查系统的存储器使用最小化,并且可以提高检查速度。

根据该特征,检查方法提供一种连续地对相同图案的各印刷电路板单元进行光学检查的自动光学检查系统的检查方法。该检查方法,将上述印刷电路板的主数据按多个细部检查区域单位来进行示教。以影像摄像装置的一次最大摄像范围获取上述印刷电路板单元的影像数据。根据上述获取的影像数据判别上述细部检查区域。分别判别上述被判别的细部检查区域合格与否。当上述细部检查区域中的至少一个不合格时,对包括上述被判别为不合格的细部检查区域的印刷电路板单元进行判别。接着,将包括上述被判别为不合格的细部检查区域的上述印刷电路板单元判别为不合格。

在一个实施例中,上述示教包括:准备上述主数据;将上述主数据分为上述多个细部检查区域来登记;及登记用于判别上述各细部检查区域的图案成分的基准数据。

在另一实施例中,上述各细部检查区域是将上述印刷电路板单元分为均匀的大小来形成的。

并且,在另一实施例中,上上述示教还包括:登记用于识别上述细部检查区域的识别信息。

并且,在另一实施例中,对应于上述细部检查区域,将上述识别信息设定和存储为互不相同的文字、记号及图形中的某一识别标记。

并且,在另一实施例中,上述识别信息分别设置在上述细部检查区域内部的互不相同的位置。

并且,在另一实施例中,上述识别信息还包括上述识别标记和上述识别标记的位置信息。

并且,在另一实施例中,登记上述基准数据如下进行:在与上述各细部检查区域对应的上述被分的主数据中显示希望进行光学检查的标识图案;利用上述标识图案来判别上述细部检查区域的图案成分及空间成分;测量上述被判别的图案成分及空间成分的宽度;及存储用于判别上述被测量的图案成分的合格与否的上述基准数据。

并且,在另一实施例中,述基准数据设置成基于上述标识图案的亮度照度计的二值数据。

根据本发明的另一特征,提供一种连续地对形成有相同图案的印刷电路板进行检查的自动光学检查系统的检查方法。根据该方法,将成为上述印刷电路板的基准的主数据划分成多个区域;对上述各印刷电路板如下进行连续摄像:使分配给与由摄像机一次拍摄的上述各印刷电路板的各区域的个数与在主数据中划分的各区域对应,并与分配给一个印刷电路板的区域的个数不同;从通过上述拍摄获取的上述各印刷电路板的影像数据中,与对应于上述被划分的各区域的上述主数据的区域相比较来进行判别;并且,根据上述被拍摄的影像数据,在分配给上述一个印刷电路板的区域全体被判别为合格品的情况下,将上述一个印刷电路板判别为合格品。

在一个实施例中,上述印刷电路板的区域沿着上述印刷电路板的长度方向划分。

在这个实施例中,由上述摄像机一次拍摄的上述区域的个数是对应于一个上述印刷电路板的各区域的个数的整数倍。

并且,在另一实施例中,上述区域的长度相同。

并且,在另一实施例中,上述摄像机使上述区域不重复地连续地拍摄上述印刷电路板。

并且,在另一实施例中,对被拍摄的上述印刷电路板的影像数据的各区域和上述主数据的各区域提供识别信息,对一个印刷电路板的影像数据的各区域提供互不相同的识别信息,对上述主数据的与上述印刷电路板相对应的区域提供相同的识别信息。

本发明的实施例可以变形为多种形态,本发明的范围不得解释为由如下所述的实施例限定。本实施例是为了向本领域中具有平均知识的技术人员更完整地说明本发明而提供的。因此,为了强调明确的说明而夸张了附图上的构成要素的形状等。

附图说明

图1是表示一般的挠性印刷电路板的结构的图;

图2是表示一般的自动光学检查系统的概略结构的图;

图3是表示用于说明图2所示的自动光学检查系统的示教方法的一个印刷电路板单元的图;

图4是表示根据本发明的自动光学检查系统的概略结构的图;

图5是表示用于说明图4所示的自动光学检查系统的示教方法的一个印刷电路板单元的图;

图6是表示图5所示的印刷电路板单元的局部结构的图;

图7是表示图6所示的标识图案的图;

图8是表示根据本发明的自动光学检查系统的示教步骤的流程图;

图9是表示利用根据本发明的自动光学检查系统的示教方法的检查步骤的流程图。

具体实施方式

以下根据附图4至图9详细说明本发明的实施例。

图4是表示根据本发明的自动光学检查系统的概略结构的图。

参照图4,为了对以相同图案形成的多个挠性印刷电路板100连续进行外观检查,自动光学检查系统100至少包括一个影像摄像装置104和控制部102,该控制部102接收并处理由摄像单元104获取的影像数据,并对自动光学检查系统100的各种动作进行控制。还包括一般的自动光学检查系统的典型的构成要素(例如,卸载部、照明装置、标记装置及装载部等)。

因此,本发明的自动光学检查系统100以摄像装置104的一次最大摄像范围获取影像数据来进行自动检查。因此,自动光学检查系统100设定和登记将印刷电路板单元110分为均匀的大小的多个细部检查区域,并处理示教作业,以便能够按细部检查区域单位进行光学检查。

影像摄像装置104例如设有摄像机、影像传感器等,按一次最大视场即最大摄像范围112a~112f获取挠性印刷电路板110的影像数据。这时,影像摄像装置104以细部检查区域不重复的方式连续拍摄印刷电路板。并且,影像摄像装置104对印刷电路板单元连续进行拍摄,以分配给一次被拍摄的每个印刷电路板单元的区域的个数、与在主数据中被分割的细部检查区域对应而分配给一个印刷电路板的区域的个数不同。

并且,控制部102例如包括:影像处理装置,对从影像摄像装置获取的影像数据进行处理;存储器,存储用于示教及检查的数据和获取的影像数据;典型的计算机系统,对被分的细部检查区域进行判别,并包括控制器等;以及可编程逻辑控制器。

这里,影像摄像装置104的视场取决于透镜(未图示)的规格。例如,视场25毫米是指利用25毫米透镜一次可拍摄的最大范围。

因此,控制部102在进行用于自动光学检查的示教作业时,准备成为检查对象物的印刷电路板单元110的主数据来登记,将主数据分成均匀的大小,并设定和存储多个细部检查区域。主数据例如包括对实际电路图案的设计图面文件(即,CAD数据)或相当于实际产品大小的被拍摄的影像数据等。并且,控制部102登记用于识别各细部检查区域的识别信息,并存储用于判别各细部检查区域的图案成分及空间成分的基准数据。并且,控制部102按照影像摄像装置104的一次最大摄像范围获取影像数据,按照多个细部检查区域单位对印刷电路板单元110进行光学检查。

由于本发明的自动光学检查系统100将印刷电路板单元的主数据分为多个均匀大小的细部检查区域来进行示教,所以在光学检查时,影像摄像装置104能够以一次可拍摄的最大范围获取影像数据,无重复拍摄地获取影像数据,并且,由于利用被分的细部检查区域来进行示教并检查,从而使控制部102的存储器的使用最小化,实现迅速的光学检查。

具体而言,如图5所示,主数据分为多个细部检查区域116a~116f。对被分的各细部检查区域116a~116f,登记互不相同的用于识别的识别标记118a~118f。这时,在有IP孔114的情况下,以IP孔的节距单位分成细部检查区域116a~116f,在没有IP孔的情况下,设定为一定的大小来均匀地分割。

目前,印刷电路板单元由于产品的小型化及制造成本削减等的原因,处于逐渐小型化的趋势。例如形成为6节距大小~5.5节距大小。在这种情况下,印刷电路板单元的5节距部分按1节距单位分成细部检查区域,剩余的部分也分配为一个细部检查区域。当然,这时,将细部检查区域按2节距单位分割的情况下,剩余的1.5节距分配给一个细部检查区域。因此,将多种大小的印刷电路板分成多个细部检查区域时,将连续的印刷电路板以均匀的大小分为细部检查区域,最后剩余的部分可对应于被分割的大小来进行多种变更。

并且,细部检查区域116a~116f将在内部区别于各个其它细部检查区域的形状(例如文字、记号、图形等的图案等)作为识别标记118a~118f来登记和存储。例如各细部检查区域116a~116f分别利用识别标记118a~118f来定义是一个印刷电路板单元的第几个细部检查区域。并且,细部检查区域116a~116f在各不相同的位置配置识别标记118a~118f,将所配置的识别标记118a~118f的位置信息与识别标记118a~118f一起登记,在判别细部检查区域时,利用所登记的识别标记118a~118f的位置信息,容易判别各细部检查区域116a~116f。并且,各细部检查区域116a~116f,当包含在一个印刷电路板单元中的所有细部检查区域都被拍摄时,相应印刷电路板单元的检查才完成。

并且,各细部检查区域116a~116f登记和存储用于内部的检查对象图案成分及空间成分所需的基准数据。如图6所示,在判别细部检查区域116a的图案成分120及空间成分122时需要基准数据。即,一个细部检查区域将用于对成为检查对象的图案成分进行判别的标识图案124显示在与细部检查区域对应的主数据上,利用标识图案124判别图案成分120及空间成分122。例如,标识图案用示教线(teaching line)124表示,将示教线124的亮度照度计设定为基准数据。并且,如图7所示,标识图案124为了对被判别的各细部检查区域的图案成分进行判别,而判别图案成分和基准数据的差值,划分图案成分和空间成分的边界。例如,将一个细部检查区域的基准数据设定为亮度照度计的二值数据的情况下,若任意的成分与基准数据相同(或小于二值数据),则判别为图案成分,若与基准数据不同(或是二值数据以上),则判别为空间成分。

接着,若判别出相应细部检查区域的图案成分,则将所获取的影像数据和相应细部检查区域的主数据相比较,判别细部检查区域的合格与否。接着,当结束了所有细部检查区域的检查时,判别一个印刷电路板单元的合格与否。

若一般的自动光学检查系统用25mm摄像机进行拍摄,在一个视场中获取最大5节距大小的影像数据。由于1节距是4.75mm的大小,一视场是5节距×4.75mm=23.75mm,满足25mm摄像机的一个视场所拍摄的条件。如果是一个印刷电路板单元的大小为6节距的产品的情况下,不能通过一次拍摄获取一个印刷电路板单元整体的影像数据。因此,现在是将一个印刷电路板单元按3节距分割并进行两次拍摄来获取影像数据,将各自的影像数据相加来判别该印刷电路板单元的合格与否。

但是,25毫米摄像机的一个视场最大可以拍摄5节距。但是,实际使用的部分只检查3节距,因此各有2节距的影像数据重复而产生不进行检查的部分,结果使检查速度下降。

因此,本发明与现有方式的最大不同点在于,当一个印刷电路板单元的大小为6节距产品的情况下,现有方式是拍摄2次影像来检查6节距,但是,本发明的方式是与一个印刷电路板单元的大小无关地以最大视场每次5节距地拍摄2次影像,就可以检查10节距。例如,在第一次影像拍摄时,对第一单元的5节距进行拍摄来检查,在第二次影像拍摄时,对第一单元的剩余的1节距和第二单元的4节距的影像进行拍摄来检查。

因此,本发明的自动光学检查系统与印刷电路板单元的大小无关地继续获取一定大小的视场的影像数据来进行检查,所以,与现有方式相比,每相同的时间内检查速度提高。

并且,图8及图9是示出本发明的自动光学检查系统的示教及检查步骤的流程图。

如图8所示,示教步骤中,在步骤S200准备主数据来登记和存储。例如,主数据包括印刷电路板单元的实际电路图案的设计数据(即,CAD数据)或对实际单元进行拍摄的影像数据等。

在步骤S202,将主数据分为多个细部检查区域,登记和存储各细部检查区域。这时,各细部检查区域被分为相同的大小。例如,在6节距大小的印刷电路板的情况下,以IP孔为基准按相同的大小分为6个,或者,没有IP孔的印刷电路板的情况下,按一定的大小分割细部检查区域。并且,对于大小为5.5节距的印刷电路板,按1节距大小来分割细部检查区域,剩余的部分也分配到一个细部检查区域。因此,细部检查区域可以与影像拍摄的最大视场、印刷电路板的大小及/或形成在印刷电路板上的电路图案对应地进行多种变更。

在步骤S204设定和存储各细部检查区域的各自的识别信息。这时,与各细部检查区域对应的识别信息包括:利用互不相同的文字、记号或图形等来识别各细部检查区域的识别标记;以及表示各识别标记配置在细部检查区域内部的特定位置上的位置信息。并且,各识别标记设置在各细部检查区域内部的互不相同的位置,以便容易识别位置。例如,如图5所示,一个印刷电路板单元分割为6个细部检查区域的情况下,第1至第6细部检查区域以不同的图形来设定识别标记,各识别标记配置在各细部检查区域的不同的位置。因此,连续的印刷电路板单元中重复与第1至第6的各细部检查区域对应的识别标记和位置信息,若据此来判别印刷电路板单元的位置,则细部检查区域的判别较容易。

接着,在步骤206登记和存储用于对细部检查区域进行合格与否的判别的各自的基准数据。这时,基准数据为了对应于各细部检查区域来判别图案成分和空间成分,将数据的亮度照度计作为基准数据,来判别细部检查区域的图案成分及空间成分。

并且,如图9所示,检查方法是在步骤S210完成图8的示教作业的状态下进行。在步骤S212以影像摄像装置的最大视场即一次最大摄像范围来对印刷电路板单元进行拍摄,获取影像数据。这时获取的影像数据包括多个细部检查区域,不能通过一次拍摄来获取一个印刷电路板单元的影像数据,因此,结合通过下一次拍摄来获取的影像数据的一部分,来获取一个印刷电路板单元的影像数据。

在步骤S214获取的影像数据,利用包含在识别信息中的位置信息、根据示教时登记的特定位置的识别标记来判别为各细部检查区域。识别信息(即,识别标记及位置信息)被提供给被拍摄的印刷电路板单元的影像数据的各区域和主数据的各区域。这时,对一个印刷电路板单元的影像数据的各区域提供互不相同的识别信息,对于与各印刷电路板对应的主数据的区域提供相同的识别信息。

在步骤S216,利用各细部检查区域的基准数据,判别各细部检查区域的合格与否。判别的结果,若与各基准数据不一致或其以上,则判别为空间成分,若与基准数据一致,则判别为图案成分。这时,被判别的图案成分及空间成分通过二值数据判别边界部分,测量图案的线宽及空间宽度的大小。

接着,若在步骤S212,判别出对一个印刷电路板单元的多个细部检查区域的合格与否,则据此来判别一个印刷电路板单元的合格与否。

接着,利用一个印刷电路板单元的大小是6节距的产品的情况,对本发明的示教动作进行说明。

将相当于检查对象物(即,印刷电路板单元)的被拍摄的影像或实际检查对象物的设计图(即,CAD数据等)登记为主数据,将主数据分为多个细部检查区域来设定河登记各细部检查区域。例如,将6节距产品按每个节距分为6个细部检查区域。这时,对6个细部检查区域,分别利用显示互不相同的特征的文字、记号或图形等图案形状来设定识别标记,并设定和存储包括识别标记的位置信息的识别信息。例如,将第一个细部检查区域设定为文字A,将第二个细部检查区域设定为文字B,并且,将第三个细部检查区域设定为文字C,从而用不相同的文字设定识别标记,并且,设定寻找各识别标记的区域的位置信息。因此,即使在任意的位置拍摄影像数据,只要在先登记的各识别标记和寻找该识别标记的区域的位置的细部检查区域中查找是否有自己要寻找的区域即可。如果,寻找文字B的识别标记,则当然显示第二个细部检查区域。

并且,印刷电路板单元在摄像机与摄像机之间按一定的间隔排列单元,所以可以确认单元之间的个数,因此,控制部可以判别各印刷电路板单元的编号。并且,另一方法如下:在摄像机与摄像机之间按一定的间隔排列单元,所以控制部在获取影像数据时可以判别各印刷电路板单元的编号及细部检查区域的位置。

因此,细部检查区域内的识别标记是检查相应的细部检查区域的所必要的。

为了在主数据中登记实际产品的影像数据,将一个印刷电路板单元的所有细部检查区域通过最大视场拍摄两次,则获取一个印刷电路板单元的所有细部检查区域的影像数据,从而将两个影像数据登记为主数据,由此来登记印刷电路板单元的所有细部检查区域的检查信息。

然后,即使获取形状与前面获取的两个影像数据不同的其它影像数据,已登记的各细部检查区域分别以单独的数据与当前获取的影像数据匹配来进行检查。

并且,基准数据可以根据制造厂商及产品设置多种。例如,在本发明的实施例中,基准数据是在印刷电路板单元的要检查的图案的特定位置,如图6所示划出示教线124来形成标识图案,以示教线的基于亮度照度计的二值数据为基准,判别各细部检查区域的图案成分和空间成分的边界。并且,测量图案成分的线宽及空间成分的空间宽度。这时,作为数值而输入寻找图案成分和空间成分的边界的二值数据,或登记判断合格与否的基准。例如,登记如下的基准,即,若二值数据的线宽比合格品减小30%以上,则将其判断为凹陷。当然,不希望检查的细部检查区域不标记示教线,从而忽略。

首先,在自动检查时,在先执行的影像获取或CAD文件准备、和在该影像或CAD文件上设定检查区域或要检查的图案及检查规格等的示教作业完成和存储的状态下,为了以对细部检查区域的示教信息(影像数据、识别信息、基准数据等)为基准连续获取影像而进行自动光学检查。

这时,在自动检查时,以在示教时已登记的示教信息为基准来获取影像数据,按各细部检查区域,对当前获取的影像数据和已登记的示教信息进行比较来判断合格与否,导出印刷电路板单元单位的检查结果及每批的检查结果。

这也是登记和存储用于根据最初登记的识别标记来识别识别标记的二值数据(即,亮度照度计),并获取当前的影像,在寻找识别标记的区域内同样地进行二值化时,如果存在二值数据相似的识别标记,则判断为相同的细部检查区域,对这时已进行示教的图案区域和空间区域的宽度进行测量检查。

以上,根据详细说明和附图,利用连续的印刷电路板单元,例示了本发明的自动光学检查系统的结构及作用,但这只是举出实施例进行了说明,也可以应用于检查多种大小的印刷电路板单元或对单一印刷电路板进行光学检查等;并且,在不脱离本发明的技术思想的范围内,可以进行多种变化及变更。

如上所述,本发明的自动光学检查系统与印刷电路板单元的大小无关,按一定大小分割多个细部检查区域,设置和登记被分的各细部检查区域的识别信息及基准数据来进行示教,从而可以缩短自动光学检查系统的示教时间。

并且,本发明的自动光学检查系统登记在示教时用于识别细部检查区域的识别信息及基准数据,从而可以容易判别在光学检查时按最大摄像范围拍摄的细部检查区域。

并且,通过利用本发明的示教方法进行光学检查,可以通过影像摄像装置的一次最大摄像范围,进行印刷电路板单元的连续的检查,从而提高检查速度。

而且,本发明的自动光学检查系统对示教时及检查时包含在影像摄像装置的最大摄像范围内的细部检查区域单位的数据进行管理,因此,可以使存储器的使用量最小化。

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