化学气相反应过程动态在线分析系统

摘要

本发明公开了一种化学气相反应过程动态在线分析系统，其特征在于：包括磁悬浮天平、红外热成像仪、色谱仪和质谱仪，磁悬浮天平固定在气相反应炉的正上方，磁悬浮天平的挂钩通过金属绳与基体连接，在气相反应炉的底部固连一单晶锗，红外热成像仪的摄影头透过单晶锗与基体相向放置，出气口上依次串联有分子泵和六通阀，气相色谱仪通过六通阀与氦气源连通，在六通阀后，通过第一电磁阀和第二电磁阀并联有质谱仪和真空泵。由于利用磁悬浮天平和红外热成像仪，在化学气相渗透过程中实现了基体的重量和温度变化实时测量，为研究化学气相反应过程机理提供了翔实的数据。气相色谱仪和质谱仪可同时对尾气进行监测。