一种原位表征金属薄膜氧化反应动力学规律的方法

摘要

本发明属于薄膜传质表征技术领域，具体涉及一种原位表征金属薄膜氧化反应动力学过程的方法。其特点是引入方块电阻法以建立适合原位表征纳米尺度膜氧化动力学过程的方法，以克服传统的动力学过程表征手段在运用于薄膜体系时的局限性，表征尺度在10nm及以上纳米尺寸范围。本发明对于给出纳米体系金属薄膜的扩散参量，揭示纳米尺度异常传质现象，具有重要的科学价值。