激光处理设备和激光处理方法以及碎片排出机构和碎片排出方法

摘要

本发明提供一种激光处理设备。该激光处理设备去除和排出碎片，该碎片是在图案化处理期间利用激光照射形成在基底上的透明树脂层而产生的，包括设置在基底上方的碎片排出模块，其中碎片排出模块抽吸和排出碎片，该碎片是由于升华、热处理和合成作用从基底上的透明树脂层产生的，该树脂层利用激光从基底下方进行照射。