法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-08
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N19/04 申请公布日:20070214 申请日:20050812
发明专利申请公布后的驳回
2007-04-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-02-14
公开
公开
机译: 记录中膜厚检测装置,图像形成装置,记录中膜厚检测方法,记录中膜厚检测方法的程序以及记录中膜记录程序
机译: 膜厚不规则检测装置及方法,以及具有膜厚不规则检测装置和膜厚不规则检测方法的涂布装置
机译: 壁厚检测装置及壁厚检测装置的检测方法