制膜装置、制膜方法、图案化方法、光学装置的制造方法

摘要

提供一种能够提高微细图案的形成精度的制膜装置。具备：在基体(160)上喷出第一化学种的第一喷嘴(102a)、在基体(160)上喷出第二化学种的第二喷嘴(102b)、储存第一化学种的材料储藏室(101a)和发生反应活性物种的反应活性物种发生部(103a)、储存第二化学种的材料储藏室(101b)和发生反应活性物种的反应活性物种发生部(103b)，其中，将第一喷嘴(102a)与第二喷嘴(102b)配置得使被喷出的第一化学种的流与第二化学种的流交叉。