用于控制微元件的封闭腔的气密性的方法和用于实施该方法的微元件

摘要

为了控制至少一个微元件(1)的封闭腔(14)的气密性的方法，所述元件包括制作在衬底(2)之上或其一部分上的一个结构(5，6，10)，一个固定在该衬底的部分区域上用以保护该结构的罩子(3)，和在有反应流体的情况下其光学或电性能会发生改变的监测元件(4，15)。该监测元件对光学检测可以是铜层(4)或对电检测是钯电阻(15)。该微元件(1)置于而后将被气密封闭的容器内。该容器再加压反应物流体填充，即对光学控制用氧气，对电控制用氢气。在一段规定时间内容器内的元件受到反应流体的高于10巴的压力，且受到热活化(T＞100℃)或光学活化(A＜500nm)。在该时间段之后，通过监测元件(4，15)的光学或电控制来确定所述封闭腔(14)的气密性。