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硅烷化合物、聚硅氧烷以及放射线敏感性树脂组合物

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摘要

本发明提供适合作为I－D偏差、焦点会聚范围(DOF)等特别优异的化学放大型抗蚀剂中的树脂成分的新型聚硅氧烷，作为合成该聚硅氧烷的原料等有用的新型硅烷化合物，和含有该聚硅氧烷的放射线敏感性树脂组合物。硅烷化合物用下述式(I)表示。聚硅氧烷具有下述式(1)表示的结构单元(R表示烷基，R

1. 硅烷化合物、聚硅氧烷以及放射线敏感性树脂组合物 [P] . 中国专利： CN1886410A . 2006-12-27
2. 含硅烷醇基的聚硅氧烷溶液的稳定化方法、稳定化的含硅烷醇基的聚硅氧烷溶液的制造方法和稳定化的含硅烷醇基的聚硅氧烷溶液 [P] . 中国专利： CN103917580B . 2016.06.08
3. SILANE COMPOUND, POLYSILOXANE AND RADIOACTIVE RAY SENSITIVE RESIN COMPOSITION [P] . 日本专利： JP2005139169A . 2005-06-02

机译：硅烷化合物，聚硅氧烷和放射线敏感性树脂组合物
4. Silane compounds, polysiloxanes and the radiation-sensitive resin composition [P] . 日本专利： JP4613580B2 . 2011-01-19

机译：硅烷化合物，聚硅氧烷和辐射敏感性树脂组合物
5. Polysiloxane, Method of Manufacturing Same, Silicon-Containing Alicyclic Compound, and Radiation-Sensitive Resin Composition [P] . 韩国专利： KR100744926B1 . 2007-08-01

机译：聚硅氧烷，其制造方法，含硅脂环族化合物和辐射敏感性树脂组合物