具有分隔空腔的可调谐Fabry－Perot滤光器

摘要

一种对入射角的灵敏度较低的可调谐Fabry－Perot滤光器是通过采用有效折射率大于1的分隔空腔来代替空腔(空气间隙)形成的。该分隔空腔包括一对形成在可变空气间隙任一侧的反射器上的分隔空腔介质层，各个介质层都具有小于滤光器调谐范围中最短波长的四分之一的光学厚度。所形成的三层分隔空腔具有实质上等于在滤光器调谐范围内所传输波长的一半的整数倍(m)的有效光学厚度。