公开/公告号CN1854906A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-11-01
原文格式PDF
申请/专利权人 麦克罗尼克激光系统公司;
申请/专利号CN200610080364.0
申请日2002-09-09
分类号G03F7/20;G03F1/14;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人黄小临
地址 瑞典泰比
入库时间 2023-12-17 17:51:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-04-22
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-12-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-11-01
公开
公开
机译: 具有减小的微镜阵列的相邻微镜之间的间隙的微镜阵列
机译: 在相邻微镜阵列之间具有减小的间隙微镜的微镜阵列
机译: 具有减小的微镜阵列的相邻微镜之间的间隙的微镜阵列