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补偿在微镜阵列中的独立微镜之间的响应差别的方法

摘要

本发明涉及使用子像素分辨率来呈现高精度图像,可适用于产生网线板和大面积掩模、直接写入图形和查看网线板或其他图形的工件。本发明的多个方面可以应用到SLM和扫描技术。本发明包括一种调制微镜阵列以建立和加强图像的方法。本申请公开了重叠区、保护区的使用、将多边形移动和重新定大小、使用两个分辨率级,表示区域、定义边、定位边和角。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-04-22

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2006-12-27

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-11-01

    公开

    公开

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