用于注册连接的系统和方法、计算机可读媒体和自动设备

摘要

本发明公开了用于监控材料处理系统的改进的系统和方法，其中该材料处理系统包括一个处理工具、连接到处理工具以生成并传送电数据的若干RF响应电传感器、配置为从若干RF响应电传感器接收电数据的传感器接口集合(SIA)。