一种主从式集中控制体系结构

摘要

本实用新型公开了一种主从式集中控制体系结构，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：一个主控制器、一个以上子控制器及主控计算机，所述的主控制器通过双向光纤一端与主控计算机连接，另一端与子控制器串行连接；所述的主控制器为双端口控制器；所述的子控制器可以包括高电位子控制器和地电位子控制器，各个高电位子控制器之间用光纤串连，各个地电位子控制器之间用光纤串连。本实用新型抗干扰性能强、稳定性和可靠性高。