具有小间距的微镜阵列器件

摘要

公开了包括微镜器件阵列的一种空间光调制器，以及这种空间光调制器的制造方法。对应于所使用的光源确定相邻微镜器件之间的中心到中心距离和间隙，以便使光学效率和性能最高。该微镜器件包括形成在基板(210)上的铰链支架(218)，以及由铰链支架(218)支撑的铰链(22)。镜片(212)通过触点(224)与铰链(222)连接，并且根据镜片(212)所需的最大旋转角度、相邻微镜之间的最佳间隙和间距来确定镜片(212)与铰链(222)之间的距离。在这种空间光调制器的制造方法中，将一个牺牲层沉积到基板(210)上，之后形成镜片(212)，并将另一牺牲层沉积到镜片(212)上，随后形成铰链支架(218)。用自发气相化学蚀刻剂通过相邻反射镜器件之间的小间隙，去除两个牺牲层。此外，还公开了一种投影系统，它包括这种空间光调制器以及光源、聚光光学装置，其中光源发出的光被聚焦到微镜阵列上，还包括将微镜阵列有选择反射的光投射到靶上的投影光学装置，以及用于有选择地驱动阵列中微镜的控制器。