公开/公告号CN1839481A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-09-27
原文格式PDF
申请/专利权人 哈恩-迈特纳研究所柏林有限公司;
申请/专利号CN200480024009.0
申请日2004-08-16
分类号H01L29/786;H01L21/336;
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人曾立
地址 德国柏林
入库时间 2023-12-17 17:42:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-05-06
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-11-15
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-09-27
公开
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机译: 垂直纳米晶体管的制造方法
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