有机电致发光器件制造方法及有机电致发光器件制造装置

摘要

本发明提供一种有机电致发光器件制造技术，其没有前处理工序中衬底被污染的问题，而且能够准确进行衬底和掩模的位置对合而形成精细的有机发光层。本发明是包括相对于衬底(10)进行前处理的前处理工序的有机电致发光器件制造方法，前述前处理工序包括在真空中加热及冷却前述衬底(10)的工序，在该冷却工序结束后，相对于该衬底(10)进行成膜用掩模(11)的位置对合，进而经由成膜用掩模(11)而在衬底(10)上形成空穴传输层，其后进行至少一种颜色的有机发光层的形成。前处理工序中的冷却，在烘焙室(23)中的加热处理之后、和前处理室(25)中的真空等离子体处理之后，在冷却室(24)中进行。