防止有源有机发光二极管器件的阴极产生断裂的方法

摘要

一种防止有源有机发光二极管器件的阴极产生断裂的方法，通过削缓薄膜晶体管的一源极/漏极两端的一转角处，改善该有源有机发光二极管器件的一阴极层产生断裂的情形。此方法首先提供一基板，在此基板上形成一导电层，然后在导电层上形成一图案化的光阻层，并以该光阻层为罩幕进行一干式蚀刻制作工艺，而形成薄膜晶体管的该源 极/漏极图案，其中该源极/漏极图案两端的轮廓呈斜坡状，最后再将光阻层移除。