用于产生多个小波束的装置

摘要

本发明涉及一种用于产生多个带电粒子小波束的装置，其包括一个用于产生发散带电粒子波束的带电粒子源，一个用于折射所述发散带电粒子波束的会聚装置，和一个由多个透镜构成的透镜阵列，其中所述透镜阵列位于所述带电粒子源和所述会聚装置之间。这样，有可能减小会聚装置的像差。