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一种溶胶-凝胶独立前驱单体薄膜制备方法

摘要

本发明提供了一种溶胶—凝胶独立前驱单体薄膜制备方法,它是通过分别制备各种稳定的金属有机溶剂前驱单体,然后在催化剂、金属螯合剂作用下,混合各种前驱单体,并加水,通过水解缩聚形成溶胶凝胶体系,即溶胶前驱体。所述的前驱单体可以是不同的金属离子有机溶液,它能够随时地更换金属离子种类和配比;前驱单体的稳定性高于多种金属离子组成的前驱体。本发明方法具有快捷、方便、可以随时改变组分配备、掺杂等特点,并且按照本发明方法制备出的前驱体溶胶的存放时间长。

著录项

  • 公开/公告号CN1699621A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2005-11-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 电子科技大学;

    申请/专利号CN200410022548.2

  • 发明设计人 陈祝;张树人;杨成韬;

    申请日2004-05-17

  • 分类号C23C20/06;H01L41/24;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 610054 四川省成都市建设北路二段四号

  • 入库时间 2023-12-17 16:46:38

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-06-03

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2006-01-18

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-11-23

    公开

    公开

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