退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
公开/公告号CN1708829A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社尼康;
申请/专利号CN200380102081.6
发明设计人 竹中修二;
申请日2003-11-25
分类号H01L21/027;G03F7/20;G02B19/00;
代理机构11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司;
代理人寿宁
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 16:46:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-07-19
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-12-14
公开
机译: 光源单元和光源单元的光轴调整方法,对应于接近曝光装置和接近曝光装置的曝光光学照明方法,以及制造方法
机译: 光源单元,用于光源单元的光学轴调整方法,接近曝光设备,用于接近曝光设备的曝光光辐射方法以及显示面板基板的制造方法
机译: 曝光方法和曝光装置,光源单元和光源单元的调整方法以及器件制造方法
机译:心血管成像装置旋转成像的患者曝光剂量分布和曝光还原方法
机译:在哥斯达黎加大规模饲养条件下曝光装置中曝光装置幼虫幼虫的幼虫幼虫评价
机译:05/06曝光装置市场 - 曝光装置的增长约为25%
机译:在体内磁场曝光装置中改善了100 kHz带的曝光评估
机译:单曝光和双曝光光学微光刻的掩模设计:逆成像方法
机译:利用厚光刻胶曝光区和非曝光区之间玻璃化转变温度的差异对多孔材料进行微图案化的方法
机译:加速人工曝光装置随着用于测试聚合物耐候性的曝光光源,使用紫外荧光灯作为曝光光源。
机译:整合球形光源用于紫外线曝光:一种新的涂层,塑料和复合材料的人工紫外线老化方法