响应意外事件从移动式传送带自动退回的晶片装载装置

摘要

在第一方面，一种适合用晶片载体传送系统交换晶片载体的晶片装载装置包括适合一发生意外事件例如电源故障或紧急停机就促使晶片装载装置的末端执行器远离晶片载体传送系统的移动式传送机的偏置元件。在第二方面，一发生意外事件，不间断电源就命令控制器使晶片载体处理器从晶片载体传送系统退回末端执行器，并为其提供必要的电力。也提供了大量其它方面。