混合气体的分离方法、以及氮气分离装置和氮气消费系统

摘要

提供一种使产品氮气的纯度稳定化，利用可更为经济有效地进行的PSA方式进行混合气体分离的方法、以及氮气分离装置和氮气消费系统。使吸附塔的低压再生步骤按照使包括吸附塔内的气体向大气排气和产品气体对吸附塔内进行清洗构成的步骤占99～20％，和包含封闭吸附塔，只有进行通过产品气体对吸附塔内清洗的管线开放的预升压的步骤占1～80％而构成，检测进行高压吸附的吸附塔出口氧气浓度，根据其氧气浓度的设定值，使低压再生自动改变，利用该混合气体的分离方法可以解决上述课题。