流量测定方法和流量计、其中所使用的流量测定部组件和使用了该组件的流量测定单元、以及使用了流量计的配管泄漏检查装置

摘要

本发明提供一种测定流体流通路内的流体的流量的方法以及流量计。根据旁热恒温控制式流量测定部(16)的输出Vh以及二定点温差检测式流量测定部(18a、18b)的输出Vout，由运算部得到测定值。在流量测定部(16)，发热体(163)受基于感温体(162)的检测温度的反馈控制，根据该反馈控制的状态得到输出Vh。在流量测定部(18a、18b)，根据按流体流通方向配置在流量测定部(16)的上游侧的感温体(182)和配置在下游侧的感温体的检测温差，得到输出Vout。运算部对于预先规定的临界流量以上的流量区域，把基于输出Vh得到的流量值作为测定值输出，对于不到临界流量的流量区域，把基于输出Vout得到的流量值作为测定值输出。这样，在从极微量的流量区域到比较大的流量区域的大流量范围内，以良好的精度和灵敏度进行流量测定。