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光信息记录介质原盘和模的制造方法,原盘和模及介质

摘要

本发明的目的是提供一种制造光信息记录介质的原盘的方法;制造光信息记录介质的模子的方法;光信息记录介质的原盘和模子;和光信息记录介质,其中当在模子的一侧上录制预定图案的凹坑和/或槽时,通过减少无机材料的状态改变,使凹坑和/或槽的图案保持高质量的形状,即使使用无机材料作为抗蚀剂。一种制造在光信息记录介质的模子上录制预定图案的凹坑和/或槽的光信息记录介质的原盘106的方法,包括在基板101上形成包括第一无机材料的抗蚀剂102,第一无机材料的状态而曝光而改变,通过曝光和显影在抗蚀剂102上形成凹坑和/或槽的图案,和在凹坑和/或槽的图案上形成无机隔离层107。

著录项

  • 公开/公告号CN1645496A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2005-07-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 松下电器产业株式会社;

    申请/专利号CN200410104962.8

  • 发明设计人 伊藤英一;川口优子;

    申请日2004-12-15

  • 分类号G11B7/26;

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人王玮

  • 地址 日本大阪府

  • 入库时间 2023-12-17 16:21:02

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-10-21

    发明专利申请公布后的撤回

    发明专利申请公布后的撤回

  • 2006-09-13

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-07-27

    公开

    公开

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