用于智能结构的形状记忆合金增强型压电驱动器及制作工艺步骤

摘要

一种涉及用于智能结构的形状记忆合金增强型压电驱动器及制作工艺步骤。驱动器由形状记忆合金膜，压电陶瓷的还原层、压电层构成，制作工艺是将压电陶瓷基体材料在800℃～1000℃高温下进行单面还原，随后取出在空气中迅速冷却，待形成所需的拱形结构后清洗并抛光表面。将试样放入专用的工装夹具进行磁控溅射，在还原层表明沉积形状记忆合金膜，并经过真空晶化退火后取出。最后在两个端面涂覆导电胶作为电极。本发明具有特殊的拱形结构特征，并有响应快、驱动位移大以及承载能力强的优点，作为驱动元件具有广泛的应用前景。