在减少颗粒生成与表面粘合力的同时保持高的传热系数的模制聚合物表面的方法

摘要

本发明提供了这样的系统与设备，通过该设备提供工件垫板以支承要在转动的或自旋的分批注入器处理盘中进行注入的工件。此工件垫板提供减小了的表面粘合力并能有效地将热从工件传到处理盘上。还减少了颗粒的产生和来自工件垫板对工件的污染。工件垫板还包括一微结构的有序阵列。此外，本发明也包括形成包括微结构的有序阵列工件垫板的方法。