产生等离子的等离子源线圈和使用等离子源的等离子腔

摘要

本发明提供一种用于产生等离子的等离子源线圈和使用等离子源的等离子腔。等离子源线圈接收来自电源的电力，以在预定的反应空间产生均匀的等离子。等离子源线圈包括m(在此，m≥2且m为整数)个单元线圈。每个单元线圈都具有n圈(在此，n为正实数)。单元线圈从位于等离子源线圈中心并具有预定半径的线圈套管延伸，并设置为以螺旋形状环绕线圈套管。