公开/公告号CN1565043A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备联合公司;K2科勒咨询有限责任公司;
申请/专利号CN01821377.4
发明设计人 约翰·H·凯勒;
申请日2001-11-20
分类号H01J37/30;H01J37/317;
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人过晓东
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2023-12-17 15:47:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-04-18
授权
授权
2005-03-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-01-12
公开
公开
机译: 高电流带状射束填充装置中的射束中和低,能量/提高
机译: 它低,变成电子束发射,它对能量束的提取和减速低
机译: 低,成为射束发射,低依次为离子光学器件