公开/公告号CN1543392A
专利类型发明专利
公开/公告日2004-11-03
原文格式PDF
申请/专利权人 美佐纸业股份有限公司;
申请/专利号CN02815950.0
申请日2002-08-15
分类号B27N3/14;
代理机构上海专利商标事务所;
代理人吴明华
地址 芬兰赫尔辛基
入库时间 2023-12-17 15:39:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-07-25
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-01-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-11-03
公开
公开
机译: 用于形成薄层的装置和使用该薄层在基板上形成薄层的方法
机译: 形成薄层的方法和用于执行该薄层的薄层形成装置
机译: 多晶硅的制造方法,该方法能够形成具有少量剩余金属和大颗粒的优质半导体层,薄层晶体管,其制造方法以及用于显示装置的有机电子发光显示器