用于进行使用偶极子照明的基于模型的设计转换的方法和装置

摘要

本发明为用于进行使用偶极子照明的基于模型的设计转换的方法和装置。一种产生用于多重曝光光刻成像工序中的互补掩模的方法，包括步骤：确定一个具有多个特征的目标图案，该多个特征包括水平和垂直边缘；基于该目标图案产生一个水平掩模；基于该目标图案产生一个垂直掩模；执行一个屏蔽步骤，其中在水平掩模中用屏蔽片代替目标图案的多个特征的垂直边缘的至少一个，并且在垂直掩模中用屏蔽片代替目标图案的多个特征的水平边缘的至少一个，该屏蔽片的宽度大于目标图案中相对应的特征的宽度；执行一个辅助特征布置步骤，其中将次分辨率辅助特征设置成在水平掩模中平行于多个特征的水平边缘的至少一个，并且在垂直掩模中平行于多个特征的垂直边缘的至少一个；和执行一个特征偏移步骤，其中，调整水平掩模中多个特征的水平边缘的至少一个以使合成特征精确地再现目标图案，并且调整垂直掩模中多个特征的垂直边缘的至少一个以使合成特征精确地再现目标图案。